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石墨舟

石墨舟

产品详情

石墨舟在使用超过100次时需要操作人员及时检查镀膜状况,出现镀膜异常,需要进行清洗确认。硅片在石墨舟内正常镀膜的颜色是蓝色,片内出现非蓝色、多种颜色或片与片间 颜色差异较大,都是镀膜异常,需要及时确认异常原因。 

经技术人员分析石墨舟的涂装情况,确定石墨舟是否需要清洗,夹点是否需要更换,石墨舟是否需要设备人员清洗。

石墨舟损坏后,石墨舟内的硅片全部由生产商取出,石墨舟内的碎片由CDA(压缩空气)清洗。损坏后,设备人员用一定比例的氢氟酸溶液将硅片吊入酸槽清洗。

石墨船化学性能稳定,无化学腐蚀性。因此,车间除尘不需要考虑防病毒和防腐,主要是降低空气中的粉尘浓度,收集细粉尘。

首先,要确保石墨船加工车间密闭,避免粉尘逸出,污染环境。石墨舟加工车间空气中含有石墨舟粉尘。石墨船粉尘经除尘系统收集净化后,方可排除在车间外。

其次,根据所产生的粉尘浓度,将石墨舟加工划分为不同的区域。不同的机床和不同的加工工序产生的粉尘浓度不同,如锯切材料的粉尘浓度高,而石墨舟加工中心的粉尘浓度低,这是因为其自身完善的防尘除尘系统减少粉尘逸出,如果将锯切机床和加工中心放在一起,必然会造成加工。这个中心受到二次污染。分区处理不仅可以避免相互污染,而且便于管理。

三是统一规划,合理布局。如车间除尘管道的安装应考虑工艺特点,与生产相协调,尽量不影响工艺操作。

四是定期清理机床和车间。定期清理深圳石墨船积尘,做好机床工作台和防尘罩的清洁工作,防止二次污染。

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