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石墨舟该如何清洗呢
- 2019-09-19-

        石墨舟在使用超过100次时需要操作人员及时检查镀膜状况,出现镀膜异常,需要进行清洗确认。硅片在石墨舟内正常镀膜的颜色是蓝色,片内出现非蓝色、多种颜色或片与片间 颜色差异较大,都是镀膜异常,需要及时确认异常原因。 

        经技术人员分析石墨舟的涂装情况,确定石墨舟是否需要清洗,夹点是否需要更换,石墨舟是否需要设备人员清洗。

        石墨舟损坏后,石墨舟内的硅片全部由生产商取出,石墨舟内的碎片由CDA(压缩空气)清洗。损坏后,设备人员用一定比例的氢氟酸溶液将硅片吊入酸槽清洗。

石墨舟

        石墨舟的清洗:1。打开酸槽排水阀,用水枪冲洗酸槽,直至废酸排尽。2。关闭阀门,将石墨舟放入酸槽,打开进水阀,将纯水放入酸槽,直到水能淹没石墨舟,关闭水阀。然后在酸槽中加入氢氟酸(4瓶),关闭清洗机的窗口,开始清洗(在酸中浸泡约6小时)。清洗过程中,戴上酸碱手套,将石墨舟从酸槽中取出,看是否干净。如果此时未清洗,则继续清洗直至清洗干净。3。清洗后,放入水槽,用水枪冲洗,关闭排水阀,放水。水过船前要冲洗两个小时。4。清洗后,将石墨舟从水箱中取出,用气枪将表面明显的水滴吹走。5。将石墨舟放入专用烤箱,关好烤箱门并锁好;打开电源开关风扇开关加热开关报警开关;将温度计温度设定在80度。石墨舟在烘箱中干燥6-8小时(试验后,石墨舟在烘箱中干燥前后无任何差异,可将石墨舟取出)。6。把温度调到20度。一般情况下,炉内石墨舟在室温下冷却半小时后即可取出。7。要拧紧石墨舟上的所有螺母,检查石墨舟上的所有陶瓷部件,必须在工艺点更换石墨舟,拆卸后进入维修间的专用架子进行维修。